三轴超快激光微加工设备
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设备采用超短脉冲激光器作为加工光源，利用超快激光与材料作用时极小冲击力、极小热效应、超精细的高效冷加工机理，同时配备复合光束扫描系统，主要针对平面类及规则曲面类零件的微孔加工、精密切割和高质量刻蚀，可实现金属、非金属和复合材料的高精度微细加工。
功能特性
◆ 可根据客户需求，选用纳秒、皮秒、飞秒不同脉冲激光器；
◆ 具备旋切扫描、振镜扫描、轨迹加工三种加工模式；
◆ 具备焦距测量功能和自动定位系统，具备快速校正功能；
◆ 精密直线电机运动平台；
◆ 性能优良的控制系统；
◆ 具有自主知识产权的软件系统。
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